汎用角型ゲートバルブ【D-3】

SEMI E21.1-1296 規格準拠　300mmウエハ用角型真空ゲートバルブは新たな無摺動機構を採用することで低パーティクル化を実現した信頼性の高いバルブです。

特徴

低パーティクル化を実現
・新たな無摺動機構を採用しバルブ開閉作動時のパーティクル発生要因を最小限にしました。

シール部の信頼性向上
・ボンデッドシールタイプ（Oリング接着タイプ）をオプション設定。
・Oリングの脱落を防止し安定したシール性能を保ちパーティクル低減効果も向上します。

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主な仕様

ゲートサイズ　：　50mm×336mm
使用圧力　　　：　1×10-8 Pa~0.1MPa
最高使用温度　：　ボディ　120℃
　　　　　　　　　環境　　80℃（常温仕様）
外部ヒーター設定最高温度　：　180℃　※外部ヒーターはオプション
操作方式　　　：　複作動
作動耐久回数　：　300万回

詳細は当社営業にお問い合わせください。