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汎用角型ゲートバルブ【D-3】



SEMI E21.1-1296 規格準拠 300mmウエハ用角型真空ゲートバルブは新たな無摺動機構を採用することで低パーティクル化を実現した信頼性の高いバルブです。


特徴

低パーティクル化を実現
・新たな無摺動機構を採用しバルブ開閉作動時のパーティクル発生要因を最小限にしました。

シール部の信頼性向上
・ボンデッドシールタイプ(Oリング接着タイプ)をオプション設定。
・Oリングの脱落を防止し安定したシール性能を保ちパーティクル低減効果も向上します。



主な仕様

ゲートサイズ : 50mm×336mm
使用圧力   : 1×10-8 Pa~0.1MPa
最高使用温度 : ボディ 120℃
         環境  80℃(常温仕様)
外部ヒーター設定最高温度 : 180℃ ※外部ヒーターはオプション
操作方式   : 複作動
作動耐久回数 : 300万回


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