注目製品

真空排気ライン用ブロックバルブ【D-2】

排気ブロックバルブ(ブランチモジュール)は、成膜装置等真空排気系のVENT用などに使用される1/4″・1/2″サイズのバルブを集積化することで省スペース化やメンテナンス性の向上、さらにボルトオンヒーターによる安定したヒーティング機構により副生成物の堆積を抑制して装置のダウンタイムを軽減することが可能な製品です。



特徴

排気ブロックバルブは、平面マウント方式のバルブとモノブロック構造の流路ボディを組み合わせたシンプルなデザインを採用、装置レイアウト設計やフィールドでのオペレータの方々に有益な特徴を有しています。

省スペース化
集積ブロック化によりレイアウトの大幅なダウンサイジングが可能になります。


メンテナンス性向上
バルブの分解・洗浄・交換が可能です※。またボルトオン構造のヒーターを採用したことにより着脱性を向上しました。


コスト削減
集積化により接続配管やヒーター温調系統の削減によりイニシャルコストの削減が可能です。部品単位での交換が可能なためランニングコストを低減できます。


信頼性向上
ボルトオン構造のヒーター採用により温調性能の再現性・安定性を実現し施工ミスも撲滅します。

主な仕様

詳細は当社営業にお問い合わせください。


製品に関するお問い合わせ

お問い合わせフォームはこちら

TEL: 03-6404-2171

受付時間:9:00~12:00、13:00~18:00
土/日/祝・年末年始・当社休業日を除く