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ALDプロセス用バルブ【D-1】

高速・高耐久バルブ



TDFシリーズは、ALD(原子層堆積)プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた、高純度ガス対応のバルブです。


特徴

高速開閉・高い応答安定性
バルブ応答時間 18ms※、耐久回数後の応答安定性 ±2ms※を実現しました。
※当社試験方法実績値

高温流体に対応
アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高 220℃※までの高温流体に使用可能としました。
※電磁弁、センサ搭載時は最高200℃まで

安定したCv値
熱影響を考慮した構造及びシート素材の採用により 220℃時 Cv0.5※を確保しました。
 ※Cv値初期値誤差、使用時変動率 ±5%以内

高耐久
・当社独自技術により、220℃高温流体で耐久性4,000万回以上
・耐久試験実績値 1億回以上※達成しました。
 ※当社試験実績(試験条件)流体:N2、封入圧:0.25MPa(G)、接ガス温度:220℃



主な仕様



詳細は当社営業にお問い合わせください。


SCV サブマージブルバルブ® TD-Sシリーズ



SCVサブマージブルバルブ® TD-Sシリーズは、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な集積化ガスシステム対応のバルブです。流量の再現性が求められるALD(原子層堆積)プロセスのプリカーサ(前駆体)供給に適しています。



「サブマージブルバルブ」:高温環境で使用できるバルブ
※SCV サブマージブルバルブは㈱キッツエスシーティーの登録商標です。


特徴

高温環境に対応
バルブ全体を最高 200℃までの高温環境で使用できることにより効率の良いヒーティングが
可能となります。

安定したCv値
工場出荷時に全数Cv値を調整しています。使用時のCv値変動率が少なく安定したガス流量が
得られます。
Cv値 初期値誤差±5%以内、使用時変動率±10%以内

PFAシートの採用
耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAを採用しています。多種多様なガスに使用できます。

高耐久
実績値 2,000万回※樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下でのシート
リークやサイクル寿命などの耐久性能が向上しました。
 ※自動弁 当社試験実績(試験条件) 流体:N2、封入圧:0.7MPa(G)、環境温度:200℃



主な仕様



詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。


SCV サブマージブルバルブ®  KD-Sシリーズ



SCVサブマージブルバルブ® KD-Sシリーズは、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能なバルブです。流量の再現性が求められるALD(原子層堆積)プロセスのプリカーサ(前駆体)供給に適しています。



「サブマージブルバルブ」:高温環境で使用できるバルブ
※SCV サブマージブルバルブは㈱キッツエスシーティーの登録商標です。


特徴

高温環境に対応
バルブ全体を最高 200℃までの高温環境で使用できることにより効率の良いヒーティングが 可能となります。

安定したCv値
工場出荷時に全数Cv値を調整しています。使用時のCv値変動率が少なく安定したガス流量が得られます。
Cv値 初期値誤差±5%以内、使用時変動率±10%以内

PFAシートの採用
耐熱性及び耐腐食性に優れたPFAを採用しています。多種多様なガスに使用できます。

高耐久
実績値 500万回※樹脂シートの採用によりメタルシートタイプと比べ高温環境下でのシート
リークやサイクル寿命などの耐久性能が向上しました。
 ※自動弁 当社試験実績(試験条件) 流体:N2、封入圧:0.7MPa(G)、環境温度:200℃



主な仕様



詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。


250℃対応ゼロボリュームバルブ



ZCD8Kシリーズは、次世代メモリ用材料容器弁向けに高温化の要求に答え、独自の技術を取り入れ250℃の高温流体に適合可能なシート交換可能なバルブです。低蒸気圧固体材料を使用するALD(原子層堆積)プロセスのプリカーサ(前駆体)供給に適しています。

特徴

デッドボリュームの削減
バルブ閉時にシートからメイン流路までの内容積を約75%削減、極めて良好なガス置換特性となっています。

接ガス部高温 250℃対応
樹脂シート(PI:ポリイミド)を採用、使用流体温度250℃に対応可能としました。(最高使用環境温度:100℃)

ダイヤフラムの真空閉塞を軽減
ダイヤフラムに当社独自技術の強制リフト機能を採用し真空閉塞を抑えました。

シート、ダイヤフラムの交換が可能
調心機能を有した当社独自のダイヤフラム+シートASSY機構により簡単に交換が可能です。



主な仕様


詳細は当社営業にお問い合わせください。


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