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半導体洗浄装置・CMP装置用 集積液体供給システム IMS【C-7】

IMSとは
  • IMSは、フットプリントの大幅な削減を可能にする最新鋭のWetプロセス向け集積液体供給システムです
  • IMSは、エッチング及び成膜プロセスで長年に渡る実績に証明されたK1S集積ガス供給システムをWetプロセスに展開したものです
  • IMSは、Wetプロセス用に新たに開発した(特許出願中)シール機構と接続方法を採用。 耐薬品性に優れた接液材料を使用しており、高純度液体の供給やミキシングに適したシステムです


精密な流量コントロール
  • 精密制御が可能な液体流量コントローラー(LFC)を採用しています
  • 精密な液体ミキシングが可能です
機器類毎に共通化された接合方式
  • 機器類の種類別に標準化された寸法と接続方式により、各機器類の互換性を保証します
  • 部品の交換が簡単・迅速に可能、メンテナンス時間を削減できます
  • 機器類の取付方法の標準化により組立時間を短縮できます
  • 部品点数が少なく組立作業が容易です
フットプリントを50%以上削減




上部着脱方式による高いメンテナンス性
  • チューブの接続部やブラケットを取り外すことなく、簡単に部品を交換することが可能です
  • 部品交換時における損傷の可能性を最小限に抑えることが可能です
  • 部品交換時の作業時間を大幅に短縮出来ます


Ichor systems 概要

Ichor社は、ガスおよび化学薬品供給システムの半導体ウェーハ製造装置業界における世界最大のアウトソースプロバイダーです。複雑な組立アセンブリ、精密機械加工、ライセンス契約によるレガシーサービスなど、多岐に渡る事業を展開しています。

会社名:Ichor System Inc.
本社所在地:米国カリフォルニア州
設立:1996年
社員数:1,500名(2019)
売上高:$621M (2019)


KITZSCTは日本国内におけるIchor社製IMSの総代理店となり
きめ細やかなサービスを提供致しています。


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