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APCバタフライバルブ【C-5】

APCバタフライバルブ


次世代半導体製造工程に使用されるALD(原子層堆積)プロセス用に開発された設定温度最大190℃、300万回耐久、高速開閉機能を備えた封止・スロー排気・調圧 3つの機能を有した高機能APCバルブです。


特徴



新開発のシートリング機構
新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられた O-RING のねじれや脱落の問題を解消します。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、反応室を汚染しにくい構造です。
高耐久
シートリング機構採用により、O リングへのストレス低減、高い耐久性能を実現。
全開・全閉動作:300 万回
独自ヒーティングによる内部副生成物の低減
ボディだけではなくフラッパー内部もヒーティングすることにより、副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮します。(オプション)

インターフェース

①表示器
②電源コード
③インターフェース通信
④サービス
⑤センサー入力
⑥マイクロコネクタ端子
通信形式によってインターフェースが
変わります。
この写真はDevicenetTMです。

主な仕様



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