注目製品

真空系ヒーター付きバルブ 【C-4】

L型真空ベローズホットバルブ



L型真空ベローズホットバルブは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒータを内蔵し、弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです。ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を少なくすることを可能にしました


特徴

  • 従来他社品では不可能であったバルブ内部からの加熱が 可能な構造です。その為、反応副生成物の付着を劇的に減少しますので、メンテナンス期間の大幅な延長とパーティクルの逆拡散を防止します。
  • ベローズ内部のヒータ(特許)と、外部ヒータの温度を個々に設定できます
  • 内部ヒータは、弁体と一体で作動可能な構造になっており弁開・弁閉状態でも弁体とベローズを同時に加熱できます。
  • メタルエッチング、CVD、ALDなどのプロセスに最適です。
  • 「ISO-KF」「JIS-VF」「コンフラット回転フランジ」「ISO-MF」などの各種フランジに
  • 対応可能です。
  • ヒータ及び熱電対のコードに接続コネクタを取り付けることも可能です。


主な仕様


詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。


角型ホットゲートバルブ



UXG、LGシリーズは、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。ボディ及び弁体内部にヒーターを装備、高い均熱性能を特長としており最大180℃まで任意の温度に設定することが可能です。


特徴

  • ヒーター内蔵、ゲート加熱構造の無摺動ホットゲートバルブです。
  • 弁体、ボディを180℃まで昇温が可能でメタルCVD装置等の高温プロセスに最適です。温度制御は弁体、ボディとも別チャンネルを持っており個々に設定が可能です。
  • ベローズシール方式を採用して加熱状態での耐久性向上を実現しました。
  • 定期メンテナンスの実施により機構部分の耐久寿命は100万回です。
  • Oリング材質はフッ素ゴム、デュポン社製KALREZ等用意しております。※その他のOリング材質につきましても対応しておりますのでお問い合わせください。
  • 駆動用エアーが途絶えるなどの緊急時の場合、バルブクローズを保つラッチロック機構を
  • 備えております。

主な仕様


詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。


真空フランジホットボールバルブ



化合物半導体製造工程におけるMOCVD装置や、太陽電池、FPD製造工程における除害装置などで問題となる副生成物の堆積を抑制する効果があるフルボア構造とヒーターを備えたボールバルブです。


特徴


  • フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。
  • ボールシートに耐久性、耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを使用しており、最高流体温度200℃まで使用できます。
  • 分解・洗浄・パッキン類の交換が可能です。
  • ヒーター設定温度は200℃まで可能です。


主な仕様

・サイズ 手動:15A・25A・40A・50A・65A・100A
     自動:25A・40A・50A
・操作方式:手動、自動(NC)
・ヒーター電圧:任意に設定可
・シール材質:軸シールパッキン PTFE
       ボールパッキン ハイパタイトPTFE
       Oリング 高耐熱性FKM
・温度仕様:設定温度 200℃

詳細は当社営業にお問い合わせください。


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