高純度ガス系製品【C-1】
低圧ダイヤフラムバルブ KDシリーズ
ＫＤシリーズは、コンパクトなデザインのダイヤフラムバルブです。
高いＣｖ値を実現し、半導体高純度ガスに対応。高耐久・高耐食性能を両立させた信頼性の高いバルブです。
特長
・ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を小さくすることで優れたガス置換特性を実現
・独自の接ガス部シール構造により高シール性、高耐久化、脱ガス性能、耐食性能を実現
・厳選されたダイヤフラム素材により高耐食性能と、独自成形法により個体差を最小限化
・クリーンな製造環境と内面処理研磨によりパーティクル性能を極限まで追求
主な仕様
詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。
高圧ダイヤフラムバルブ NRDシリーズ
ＮＲＤシリーズは、高圧（20.6MPa）に対応するバルブです。
スリムでコンパクトなデザインながら少流量から大流量タイプまでの幅広い流量レンジをラインナップしました。
特徴
・新型高出力アクチュエーターと内ネジボディ構造を採用しシンプルでコンパクトなデザイン
・ハイフロータイプをラインナップ
- サイズ 1/4”の「NRHD４」は外径39.7mmのスリムアクチュエータでCv 0.25を実現
- サイズ 1/2”の「NRHD８」はCv 1.0の大流量、手動弁はハンドル操作の低トルク化を実現
・スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減
主な仕様
詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。
低圧ゼロボリュームバルブ ZCDシリーズ
ＺＣＤシリーズは、バルブ内デッドボリューム(※A部)を極限まで小さくし、ガス置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。
特徴
・バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小化し、極めて良好な
- ガス置換特性を実現 当社1/4" KD型の８６％削減
・リフト部のダイヤフラムの強制リフトにより真空閉鎖防止、オープン速度向上
・リプレイサブル構造によりシートアッセンブリはユーザーサイドで交換可能
主な仕様
詳細は製品カタログにてご確認ください。
低圧汎用ダイヤフラムバルブ VLDシリーズ
ＶＬＤシリーズは、弊社「KD」シリーズをベースとし、使いやすさ、シンプルさを追求した汎用ダイヤフラムバルブです。駆動部品数の最小化、単純化を実現しました。
特徴
- 「KD」シリーズの基本性能や素材、洗浄度をそのままに部品見直しや加工方法の変更及び部品数を削減し安全かつ低プライスを実現
- 従来モデルと同等の洗浄工程及び検査工程により従来モデル同等の信頼性、耐久性能を実現
- 最高レベルの製造環境と内面研磨処理により半導体高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求
主な仕様
詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。
メカニカル式メタルガスケット面シール継手 CVCシリーズ
ＣＶＣシリーズは、弊社独自の電解研磨による表面処理、クリーンルーム内での検査・梱包を行った高純度ガス系配管にお使い頂けるメカニカル式メタルガスケット面シール継手です。
特徴
構成部品
- メスナット(NF)：メスネジに銀メッキ処理しカジリ焼付防止、締め付けが確実に実施
- スリーブ(S)：弊社独自の電解研磨等による滑らかな内面仕上げ
- ガスケット(G)：ニッケル製が標準品で締め付けによるスリーブとの高いシール性を実現
- オスナット(NM)：転造ネジ採用で高い強度を持ち接続を確実に実施
主な仕様
製品コード表
詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。
自動溶接継手 SCM/SCLシリーズ、SCFシリーズ
SCM/SCLシリーズ、SCFシリーズは半導体製造プロセスの高純度化・高信頼性に不可欠な優れた特徴を有する高品質な自動溶接用継手です。
特長
- 素材には優れた溶接性を可能とする調質されたステンレス材を採用
- 高純度ガス系配管用途に当社独自技術の電解研磨をオプション設定可能
- クリーンルーム内での洗浄、検査、梱包により製品の洗浄度を確保
- 自動溶接に適したネック(直管部)付のため、高品質の溶接が簡単に
主な仕様
SCM/SCLシリーズ 製品コード表
SCFシリーズ 製品コード表
詳細は製品カタログでご確認ください。当社ウェブサイト上からもご覧いただけます。
