高纯度气体系列阀门

优异的高可靠性和高耐久性的气体系列阀门。

隔膜阀 低压

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  KD

  手动自动

  设计紧凑的标准隔膜阀。

  

  

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  二段式阀门

  自动

  带有流量微调整和全开/全闭的二段式控制机能。

  

  

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  高温（250℃）用阀门

  自动

  此阀采用全金属执行机构，可在高温环境下使用。

  

  

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  LOTO阀门 （带锁键阀门）

  手动

  此阀可90°开闭，可上锁。

  

  

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  快速回转阀

  手动

  此阀无中间开度，必须完全保持OPEN/CLOSE状态。

  

  

• 

  KCD

  手动自动

  与KD相比更加小型紧凑的阀门。

  

  

• 

  安全阀

  自动

  在压力异常的情况下，可以使用的一款带安全性能的隔膜阀

  

  

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  VLD

  手动自动

  此阀继承了KD系列的性能、功能、耐久性，又实现了低成本。

  

  

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  VLCD

  自动

  与VLD相比更加小型紧凑的阀门。

  

  

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  ZCD

  手动自动

  此阀拥有极好的气体置换特性。

  

  

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  二联三通阀 块状阀

  手动自动

  此阀将二台阀集成，合二为一，拥有优异的脱气特性。

  

  

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  二联三通阀小型版

  手动自动

  将常规块状阀阀体小型化，拥有优异的脱气特性。

  

  

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  TD B-SEAL IGS阀门

  手动自动

  采用我公司独创的B-SEAL密封方式，是用于气体输送系统的阀组。

  

  

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  TD C-SEAL IGS阀门

  自动

  气体供给系统用C-SEAL阀门。

  

  

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  CVC-LC

  工厂管道设备的地震防灾对策，防止接头松动。 CVC接头专用固定工具。

  

  

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  TDF Series

  自动

  适用于ALD工艺所需的高速开闭、高耐久性、耐热性、 Cv值稳定性的高纯度气体阀门。

  

  

• 

  TD-S Series

  手动自动

  适用于ALD工艺前驱体供应、要求流量再现性的阀门。

  

  

隔膜阀 高压

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  NRD

  手动自动

  纤细紧凑型，无弹性隔膜片结构的高压隔膜阀

  

  

• 

  NRMD

  自动

  纤细紧凑型，无弹性隔膜片结构的高压隔膜阀

  

  

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  NRHD

  手动自动

  大流量型高压隔膜阀

  

  

• 

  RD

  手动自动

  设计紧凑的高压用隔膜阀。

  

  

• 

  VRD

  手动

  此高压用阀门继承了RD系列的性能、功能、耐久性，又实现了低成本。

  

  

液化气体用隔膜阀

• 

  WD

  手动自动

  可更换密封圈的液化气体隔膜阀。

  

  

波纹管阀

• 

  IB

  手动自动

  耐高温、耐强腐蚀性的波纹管阀。

  

  

• 

  可变流量 式阀门

  自动

  可任意设定全开流量的波纹管阀。

  

  

• 

  SBB直通式

  手动自动

  紧凑化并兼具高Cv值和高耐久性，适用于Pipe管线的波纹管阀。

  

  

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  IBC/IBD/IBE大口径尺寸直通式波纹管阀

  手动自动

  紧凑化并兼具高Cv值和高耐久性的Y型大流量阀门。

  

  

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  加压真空阀

  手动

  KF法兰连接型的真空波纹管阀

  

  

针阀

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  流量调整 针阀

  手动

  采用耐高温、耐强腐蚀性规格的针阀。

  

  

单向阀

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  IC

  自动

  从低压到高压均可使用的往复式动作式单向阀。

  

  

超洁净蝶阀

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  BZD

  手动

  在普通工业用蝶阀的基础上采用独创的洁净技术，适用于半导体级用途的蝶阀。