耐200℃ 高温的氟树脂隔膜阀

对应流体温度200℃的氟树脂材料的隔膜阀可在半导体・LED制造行业等恶劣环境下使用，也可以用于对洁净度要求高的作业 现场。

特点

• 对应200℃流体
• 较强的高温热循环构造

气动阀

• 气动口方向可以360°进行调整
  ⇒管路布置简单
• 标准配备显示器（开关标示）
  ⇒容易确认操作状态

手动阀

• 按装LOTO(键），考虑安全问题
  ⇒防止误操作挂锁
• 采用3段式开启设定，阶段开关操作模式！
  ⇒全开・中间开启(2段式）・关闭机能的增加使得操作更简易。

用途案例

• 光刻胶脱落工艺工程上，电解硫酸的供给及回收
• 氮化膜蚀刻工艺上，热磷酸的供给及回收
• 洗浄・蚀刻设备