耐200℃ 高温的氟树脂隔膜阀

对应流体温度200℃的氟树脂材料的隔膜阀可在半导体・LED制造行业等恶劣环境下使用,也可以用于对洁净度要求高的作业 现场。
特点
- 对应200℃流体
- 较强的高温热循环构造
气动阀
- 气动口方向可以360°进行调整
⇒管路布置简单 - 标准配备显示器(开关标示)
⇒容易确认操作状态
手动阀
- 按装LOTO(键),考虑安全问题
⇒防止误操作挂锁 - 采用3段式开启设定,阶段开关操作模式!
⇒全开・中间开启(2段式)・关闭机能的增加使得操作更简易。
用途案例
- 光刻胶脱落工艺工程上,电解硫酸的供给及回收
- 氮化膜蚀刻工艺上,热磷酸的供给及回收
- 洗浄・蚀刻设备