真空バルブ

真空バルブ

長期耐久性のある真空バルブです。

L型真空ベローズバルブ

  • IVB/IVBL
    シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブです。15A~100Aをラインナップしています。
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  • IVBH
    ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵し、弁体・ベローズを加熱できる真空バルブです。
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  • IVB/IVBL/IVBH
    スロー排気ラインがメインバルブと一体構造になっている、省スペースのバルブです。
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  • IVBH-C015
    L型真空ベローズホットバルブ(IVBH)用のPID制御デジタル温度コントローラーです。
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  • 開閉表示用磁気近接スイッチ
    バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチです。
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ボールバルブ

  • BRW/BRWH
    コンパクトでシンプルな構造の配管作業が容易な90°開閉ボールバルブです。着脱可能なマントルヒータもご用意しております。
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真空バタフライバルブ

  • IVWF
    任意の開度で流量を調整でき全開全閉状態でも使用できるバルブです。
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  • PCA
    独自機構による封止方式を採用した、封止・スロー排気・調圧が1台で可能な高耐久APCバタフライバルブです。
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角型真空ゲートバルブ

  • UXG/LG
    バルブの開閉作動時に発生するパーティクルを減少させた無摺動ゲート構造のゲートバルブです。弁体とボディを高温加熱できます。
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