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L型真空ベローズホットバルブ

L型真空ベローズホットバルブは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒータを内臓し、弁体及びベローズを加熱できる真空バルブです。ベローズの内部から加熱することによりコールドスポットをなくし、生成物付着を少なくすることを可能にしました。


特徴


  • 従来他社品では不可能であったバルブ内部からの加熱が 可能な構造です。その為、反応副生成物の付着を劇的に減少しますので、メンテナンス期間の大幅な延長とパーティクルの逆拡散を防止します。
  • ベローズ内部のヒータ(特許)と、外部ヒータの温度を個々に設定できます
  • 内部ヒータは、弁体と一体で作動可能な構造になっており弁開・弁閉状態でも弁体とベローズを同時に加熱できます。
  • メタルエッチング、CVD、ALDなどのプロセスに最適です。
  • 「ISO-KF」「JIS-VF」「コンフラット回転フランジ」「ISO-MF」などの各種フランジに対応可能です。
  • ヒータ及び熱電対のコードに接続コネクタを取り付けることも可能です。

主な仕様

最高加熱温度 コントローラ設定180℃
温度制御方式 K種熱電対使用の温度コントローラによる
使用圧力 1×10-6〜2×105Pa(abs.) 【0.1MPa】
標準材質 ボディ  SUS304
ベローズ SUS316L
アクチュエータ A6063
Oリング FKM
※表記以外の材質にも対応致します。お問合せ下さい。
操作圧力 0.4〜0.7MPa(G)
検査リーク量 内部リーク 1×10-10Pa・m3/sec以下
外部リーク 1×10-10Pa・m3/sec以下
使用電圧 AC100V

ソフト排気機能(オプション)


  • スロー排気ラインがメインバルブと一体構造となり、省スペース化および排気ラインの低コスト化が可能です。
  • バイパスバルブもメインバルブのボディヒータと同時にヒーティングできます。
  • バイパスラインは流量固定タイプ、流量可変タイプからお選びいただけます。


製品に関するお問い合わせ

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