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200℃対応 フッ素樹脂製 ダイヤフラムバルブ

流体温度200℃に対応したフッ素樹脂製ダイヤフラムバルブ。半導体・LED製造などの過酷な環境下、高いクリーン度が求められる現場でお使いいただけます。


特長


  • 200℃流体に対応
  • 高温熱サイクルに強い構造

自動弁

  • エアポート方向を360°調整可能
     →配管レイアウトが容易
  • インジケータ(開閉表示)を標準装備
     →動作状態の確認が容易

手動弁

  • LOTO(鍵)機構付で安全面を考慮
     →南京錠による誤操作防止
  • 3段階に開度設定ができるステップトグル操作方式を採用!
     →全開・中間開度(2段階)・閉 の機能付加により使い易さを追求

用途例

  • レジスト剥離工程での電解硫酸の供給・回収
  • 窒化膜エッチング工程での高温リン酸の供給・回収
  • 洗浄・エッチング装置

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