注目製品

熱交換器 EXシリーズ(四国計測工業株式会社製)

新開発独自構造の高効率な熱交換器です。
流体温度を適正に制御することで、品質向上、生産性向上、メンテナンス性向上に貢献します。
クリーンかつ耐腐食性のため、半導体・化学・食品分野などでお使いいただけます。


特長


昇温率90%以上の高性能

新開発の高熱伝導材封入法とジグザグ構造(特許出願中)の相乗効果により、ガス流量:1〜500L/min、設定温度:室温+10〜500℃すべての領域で最高水準の昇温率90%以上を実現しています。
昇温率 = 流体昇温開始後30min経過後の出口温度 / 設定温度 × 100

低圧力損失

流体経路は圧力損失を最小限抑え乱流を最大限に発生させる構造を採用しています。
300L/minで0.12Mpa(EX-300M)

クリーン&耐腐食性

流体接触部にはSUS316L材を使用、更にオプションにて電解研磨(SEP)を採用することにより高いクリーン度と耐腐食性を保有しています。

幅広い使用レンジ

1〜10L/min:400℃のEX-010Mから300L/min:300℃のEX-300Mまで、5機種のバリエーションをラインナップしています。

コンパクト&省電力

EX-010Mでは本体ブロックの小型化(50mm×50mm)と高熱効率化を実現しています。

ラインナップ

流量にあわせた、最適な製品をご用意しております。



使用例


CVD・ETCH装置等排気配管の
・デポ/腐食対策
・ガスラインパージ
・真空チャンバー内ベークアウト
・洗浄工程における乾燥時間短縮
・強誘電体材料等低蒸気圧ソースのキャリアガス
などにお使いいただけます。


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