주요 제품

열교환기 EX시리즈(Shikoku Instrumentation CO.,LTD.제조)

새롭게 개발한 독자적인 구조의 고효율 열교환기.
유체 온도를 적절하게 제어함으로써 품질 향상, 생산성 향상, 유지보수성 향상에 공헌합니다.
클린도가 높고 내부식성이기 때문에 반도체·화학·식품 분야 등에서 사용하실 수 있습니다.


특징


온도 상승률 90% 이상의 고성능

새롭게 개발한 고열 전도재 봉입법과 지그재그 구조(특허 출원 중)의 시너지 효과에 의해 가스 유량:1~500L/min, 설정 온도:실온 +10~500℃의 모든 영역에서 최고 수준의 온도 상승률 90% 이상을 실현하고 있습니다.
온도 상승률=유체 온도 상승 시작 후 30분 경과 후의 출구 온도/설정 온도×100

저압력 손실

유체 경로는 압력 손실을 최소한으로 억제하고 난류를 최대한으로 발생시키는 구조를 채택하고 있습니다.
300L/min으로 0.12Mpa(EX-300M)

클린&내부식성

유체 접촉부에는 SUS316L재료를 사용, 또한 옵션으로 전해 연마(SEP)을 채택함으로써 높은 클린도와 내부식성을 보유합니다.

폭넓은 사용 레인지

1~10L/min:400℃의 EX-010M에서 300L/min:300℃의 EX-300M까지 5기종을 라인업하고 있습니다.

콤팩트&전력량 절약

EX-010M에서는 본체 블록의 소형화(50mm×50mm)와 고열 효율화를 실현하고 있습니다.

라인업

유량에 맞춘 최적의 제품을 준비하고 있습니다.



사용 예


CVD·ETCH장비 등 배기 배관의
·증착/부식 대책
·가스라인 퍼지
·진공 챔버 내 베이크 아웃(Bake-Out)
·세정 공정에서의 건조시간 단축
·강유전체 재료 등 저증기압 소스의 캐리어 가스
등에 사용하실 수 있습니다.