200℃ 대응 PFA 다이아프램 밸브

유체 온도 200℃에 대응한 불소수지제 다이아프램 밸브. 반도체·LED제조 등의 가혹한 환경의 높은 클린도가 요구되는 현장에서 사용하실 수 있습니다.

특징

• 200℃ 유체에 대응
• 고온 열 사이클에 강한 구조

자동 밸브

• 에어포트 방향을 360°로 조절 가능
  　→배관 배치가 간단
• 인디케이터(개폐 표시)를 표준 장비
  　→작동 상태 확인이 간단

수동 밸브

• LOTO(열쇠)기구 장착으로 안전성 면을 고려
  　→자물쇠가 설치되어 있어 잘못된 조작을 방지할 수 있습니다.
• 3단계로 개도를 설정할 수 있는 스텝 토글 조작 방식을 채택!
  　→Full Open/Half Open(2단계)/Full Close 기능을 부가하여 편리한 사용감을 추구

용도 예

• 레지스트 박리 공정에서 전해 황산의 공급·회수
• 질화막 에칭 공정에서 고온 인산의 공급·회수
• 세정·에칭 장치