真空阀

经久耐用的真空阀。

Ｌ型真空波纹管阀

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  IVB/IVBL

  结构简单、维护方便的L型真空阀。拥有15A～100A产品系列。

  

  

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  IVBH

  壳体外部和波纹管内部带有内置加热器，可对壳体和波纹管进行加热的真空阀。

  

  

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  IVB/IVBL/IVBH

  此阀通过将慢排气旁通阀与主阀的一体化结构节省空间。

  

  

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  IVBH-C015

  L型真空波纹管加热阀门（IVBH）使用的PID控制的数字式温度控制器。

  

  

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  开闭显示用磁气接近开关

  带有检测阀门开闭状态机能的磁气接近开关。

  

  

球阀

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  BRW/BRWH

  设计紧凑结构简单的90°开闭球阀，让管道连接作业更方便。还提供可拆装式罩式加热器。

  

  

真空蝶阀

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  IVWF

  此阀可在任意开度下调整流量，又可在全开全闭状态下使用。

  

  

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  PCA

  采用独创机构的密封方式，集全开关、慢排气、调压于一身的高耐久性APC蝶阀。

  

  

方型真空门阀

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  UXG/LG

  此门阀采用无振动门式结构，减少阀开闭时产生的微粒。阀体和壳体可高温加热。