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耐200℃ 高温的氟树脂隔膜阀

对应流体温度200℃的氟树脂材料的隔膜阀可在半导体・LED制造行业等恶劣环境下使用,也可以用于对洁净度要求高的作业 现场。


特点


  • 对应200℃流体
  • 较强的高温热循环构造

气动阀

  • 气动口方向可以360°进行调整
    ⇒管路布置简单
  • 标准配备显示器(开关标示)
    ⇒容易确认操作状态

手动阀

  • 按装LOTO(键),考虑安全问题
    ⇒防止误操作挂锁
  • 采用3段式开启设定,阶段开关操作模式!
    ⇒全开・中间开启(2段式)・关闭机能的增加使得操作更简易。

用途案例

  • 光刻胶脱落工艺工程上,电解硫酸的供给及回收
  • 氮化膜蚀刻工艺上,热磷酸的供给及回收
  • 洗浄・蚀刻设备