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熱交換器EX系列

新研发的拥有特有构造的高效率热交换器。 由于可以准确的控制流体温度,在提高品质,提高生 产效率,提高维护性能方面有很好的作用。 具有高洁净及耐腐蚀性,可使用于半导体・化学・食 品等各个领域。


特点


升温率达到90%以上的高性能

新开发的高导热性材料封装方法及锯齿结构(专利申请中)的叠加效应、气体流量:1 ~400L/min、设定温度:室温+10~400℃;在所有领域都可实现升温率90%以上的最 高水准。
升温率 = 流体升温开始后30min后的出口温度 / 设定温度 × 100

低压力损失

流体径路采用了把压力损失控制在最小限度 最大限度发生乱流的构造。
300L/min时0.12Mpa(EX-300M)

洁净度&耐腐蚀性

接触流体部位使用SUS316L材质,并且可选项使用电解抛光(SEP);从而提高洁净度 及耐腐蚀性。

使用范围广

从1~10L/min: 100℃ 的EX-010M到400L/min: 400℃的EX-400M、有四种机型的产品 变化。

缩小空间&省电

EX-010M本体采用Block的小型化(50mm×50mm)及实现高热效率。

产品种类

根据流量可选用最合适的产品。无金属型(氟树脂)也在开发中。具体请向业务人 员咨询。



使用案例

CVD・ETCH设备等排气管路

生成物・腐蚀对策
・气体管路吹扫
・真空室内烘烤
・在洗净工艺上缩短了干燥时间
・强诱电体材料等低蒸气压原料的搬运气体等上使用
等上使用